齊藤研実験室 　（現在建設中） 極低温マイクロプロ-バー （ベクトル磁場、水平磁場 〜0.9 T， 7 K ヘリウム循環冷凍機， 偏光顕微鏡カメラ、光測定窓付） 電子スピンパルス共鳴装置 （200mW CW/1kW パルス両用, 1.7 T, Heクライオスタット，ODMR光測定窓付) 各種電子測定装置 （ロックインアンプ、抵抗ブリッジ、各種高精度アンプ、フィルター、ソースメータ、ナノボルトメータ、エレクトロメータ、マルチメータ、ＬＣＲメータ、ベクトルシンセサイザー、高速オシロ、ガウスメーター　等） マイクロ波高出力パルスシステム ヘリウム冷凍機コンプレッサー 複合製膜システム （電子ビーム蒸着、２源マグネトロンスパッタ、ドライエッチング、加熱蒸着、全方位マニピュレータ） 超音波ワイアボンダー 化学実験用ドラフト 電気工作・作業スペース ターボ分子真空ポンプ 精密スクライバー 光学実験台及びレーザー みんなのソファー（?） 高速電子ビーム蒸着器 クリーンブース （フォトリソアライナー、スピンコータ、 各種電気炉、等） UP　　　BACK