齊藤研究室

ERATO

ホーム > 研究設備

研究設備

実験設備

  • 低温マイクロプローバー1号機(DC仕様、磁場 ~0.9 T,7K冷凍機)

  • 低温マイクロプローバー2号機(マイクロ波/DC仕様、磁場 ~0.9 T,7K冷凍機)

  • ベクトル磁場マイクロプローバー(3次元ベクトル磁場、マイクロ波プローブ)

  • 極低温物性測定装置 PPMS1号機(9T超伝導電磁石、VSM、磁気トルク、DCAC輸送物性、熱物性等)

  • 極低温物性測定装置 PPMS2号機(14T超伝導電磁石)

  • 極低温物性測定装置 PPMS3号機(ヘリウム循環装置Dynacool 9T超伝導電磁石)

  • 超伝導三次元ベクトル電磁石

  • 超伝導電磁石(8T光学窓付き)

  • 電子スピン共鳴装置 ESR(9.6GHz)

  • 室温回転電磁石

  • 電子ビーム蒸着in-situ測定装置

  • レーザードップラー三次元速度・変位計

  • 超短パルスレーザー・波長変換システム(Ti:sapphireモードロックレーザー、再生増幅器、OPO×2、SHG)

  • 超高速時間分解分光システム

  • 光学実験装置群(ラマン分光器、半導体レーザー、安定化ガスレーザー、分光器、PEM等各種光学機器)

  • マイクロ波分光システム群(ネットワークアナライザー、スペクトラムアナライザー、オシレーター、ストレージスコープ)

  • 各種電子測定装置群(ロックインアンプ、高周波ロックインアンプ、抵抗ブリッジ、各種アンプ、各種フィルター、ソースメーター、ナノボルトメータ、エレクトロメータ、精密電流計、LCRメータ、マルチメーター、ベクトルシンセサイザー、高速オシロ、ベクトルシンセサイザー、赤外線カメラ 等各種電気測定機器)

  • 走査電子顕微鏡・エネルギー分散型X線分光計 SEM・EDX

  • 走査プローブ顕微鏡 SPM(原子間力顕微鏡AFM、真空型磁気力顕微鏡 MFM)

  • 共焦点レーザー顕微鏡

  • デジタル金属顕微鏡

  • X線回折計・薄膜二次元マッピングシステム

  • 自動膜厚計

  • フーリエ変換赤外分光装置FTIR

  • 可視・紫外分光装置 UVVis

  • 専用クリーンルーム入口

  • 電子線リソグラフィー装置 EBD

  • イオンビームミリング装置・二次イオン質量分析計 SIMS

  • 収束イオンビーム・SEM加工装置 FIB/SEM(イオン顕微鏡、SEM、マニピュレーター、コーティング)

  • 電気炉、恒温器、スピンコーター、フォトリソマスクアライナー

  • 超高真空多元スパッタリング装置(多元スパッタ、RHEED,蒸着源、試料搬送ロボット)

  • レーザーMBE製膜装置1号機(コンビナトリアル、差動排気RHEED、エキシマレーザー)

  • レーザーMBE製膜装置2号機(コンビナトリアル、差動RHEED、エキシマレーザー)

  • 液相エピキタシー製膜装置

  • 複合製膜装置1号機(電子ビーム蒸着、スパッタ、蒸着、ドライエッチング、全方位マニピュレータ)

  • 複合製膜装置2号機(電子ビーム蒸着、スパッタ、蒸着、ドライエッチング、基板加熱)

  • 分子線エピタキシー(MBE)装置

  • 全自動グローブボックス(窒素パージ)

  • 超音波ワイアボンダー

  • 精密スクライバー

  • パターン加工装置

  • ダイシング装置

  • 表面研磨装置

  • 各種高温炉・管状炉

  • 小型イオンビームスパッタ・エッチング装置

  • 高圧プレス装置

  • 各種工作機器(スピンコーター、ダイアモンドカッター、ボール盤、アニール炉、封管装置、コーター)

  • 化学実験用ドラフト

  • 電気工作・作業スペース

  • ALD装置

  • 秘書室

  • 齊藤研セミナールーム

  • ディスカッションスペース

  • 学生・研究員居室

  • 研究室ロビー